光氧一體等離子廢氣凈化器低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。

光氧一體等離子廢氣凈化器等離子是由離子、電子、自由基和激發(fā)態(tài)原子或分子等物種組成，屬固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外第四種狀態(tài)，由于在一定的空間范圍內氣體中的正、負電荷相等，故之形成等離子體。采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染物時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。等離子其原理是通過高壓窄脈沖電壓發(fā)生器產(chǎn)生的前沿陡峭、脈沖窄（納秒級）的高壓脈沖電暈放電，在常溫常壓下獲得非平衡等離子體，產(chǎn)生大量高能電子和·O、·OH等活性粒子。在低溫等離子體中，發(fā)生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質內分子濃度及共存的介質成分。對氣態(tài)有機污染物的降解機理有足夠的能量來產(chǎn)生自由基，引發(fā)一系列的物理、化學反應。由低溫等離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發(fā)、原子與分子間的相互反應。這個能量可使大多數(shù)氣態(tài)有機物中的化學鍵發(fā)生斷裂，從而得到降解，使污染物直接分解或氧化還原最終轉化為無害物。